初心者でも失敗しないCVD / PVDの売却マニュアル
工場の閉鎖・設備更新・研究テーマの終了・解体現場での撤去…。
そんなタイミングで突然現れるのが CVD装置 / PVD装置（成膜装置） です。
「これは何に使う装置？」「古くても売れる？」「危険なガスはある？」
といった問い合わせが最も多いカテゴリのひとつで、
しかも 中古市場では非常に高額で取引される装置 です。
この記事では、
- 成膜装置の基礎
- 国内外の中古需要
- 査定ポイント
- 周辺機器の価値
- トラブル回避
- 搬出の注意点
- 売却の流れ
を初心者向けに丁寧にまとめました。
装置に詳しくなくても「何をすべきか」が整理できる内容です。
1. CVD / PVD とは？基本説明と代表メーカー・市場シェア
成膜装置は、半導体製造や研究で使われる「薄膜形成装置」です。
ウエハーの表面に金属や絶縁膜などを均一に形成する重要工程を担っています。
成膜方式にはいくつか種類がありますが、代表的なのが以下の2つです。
■ CVD（Chemical Vapor Deposition）＝化学気相成長法
ガスを化学反応させて膜を形成する方式。
用途：
- シリコン酸化膜（SiO2）
- 窒化膜（SiN）
- バリア膜
- 絶縁膜
代表メーカー：
- 東京エレクトロン（TEL）
- Applied Materials（AMAT）
- LAM Research
- ASM
- ULVAC（アルバック）
■ PVD（Physical Vapor Deposition）＝物理気相成長法
金属を蒸発・スパッタリングして薄膜を形成する方式。
用途：
- 金属配線（Al、Cu、Ti、Wなど）
- 電極材料
- 光学膜
- MEMS用途
代表メーカー：
- Applied Materials（スパッタ装置で圧倒的シェア）
- ULVAC
- Canon Anelva（アネルバ）
- Oerlikon
● 市場シェアの傾向
- AMAT・TEL・LAM がグローバルで巨大シェア
- ULVAC / Anelva は研究用途〜量産まで幅広く中古市場で人気
- 研究用小型成膜装置（ULVAC、ANELVA、サムコなど）も値崩れしにくい
2. 中古市場での需要（国内・海外）
CVD / PVD は、中古市場で非常に需要が高い装置です。
理由は「どんな製造ラインにも必須で、代替が効かない」ため。
■ 国内の需要
- パワーデバイス（SiC・GaN）
- MEMS / センサー
- LED
- 大手メーカーの研究ライン
- 産総研・大学などの研究機関
特に 200mm対応の成膜装置 は常に争奪戦です。
研究用途では 小型スパッタ装置・小型CVD の需要が非常に安定しています。
■ 海外の需要
海外のほうが需要が圧倒的に強いカテゴリです。
需要が高い地域：
- 台湾・韓国・中国（量産・増設）
- シンガポール・マレーシア・フィリピン（OSAT工場）
- インド・トルコ・UAE（新興ファブの立ち上げ）
- 東欧（成熟した中古市場）
とくに PVD（スパッタ）は
古いモデルでも部品交換しながら使えるため、海外で極めて人気 があります。
3. 相場レンジのイメージ
※具体的な金額は出さず、「傾向」を説明します。
● 年式別の傾向
- 10年以内：非常に高額
- 10〜20年：まだまだ需要が強い（特に200mm）
- 20年以上：海外研究用途・部品取りでも売れることが多い
● 仕様による違い
- CVD > PVD（スパッタ）の順で高額になりやすい
- 300mm対応装置は極めて高額
- 多チャンバー型は評価が高い
- ロードロック・自動搬送付きは人気
研究用の小型成膜装置は
年式に関係なく安定した需要 があるのも特徴です。
4. 高額査定になるポイント
成膜装置は仕様の違いが非常に大きく、査定にも大きく影響します。
● ① 人気メーカー
- Applied Materials
- 東京エレクトロン（TEL）
- ULVAC
- Canon Anelva
- ASM
上記はどれも中古市場で強いニーズがあります。
● ② 200mm／300mm対応
ウエハーサイズは価値に直結します。
● ③ マルチチャンバー構成
ロードロック付き・複数チャンバーは高額。
● ④ 真空ポンプ・RF電源が揃っている
周辺機器の欠品は大幅な減額となります。
● ⑤ メンテナンス履歴がある
保守履歴・交換部品の記録があると信用度が高まり、高評価。
● ⑥ クリーンルームでの使用
成膜装置は内部汚れが命。
環境が良いほど評価が上がります。
5. 売却前チェックリスト
査定には専門知識は不要。
まず以下を揃えるだけでOKです。
● 必要な写真
- 銘板（メーカー・型式・製造番号）
- 装置全体の写真（前・後・左右）
- チャンバー内部
- 真空ポンプ・RF電源
- 制御PC・操作盤
- 設置場所（部屋・搬出経路）
● 文章で伝えるポイント
- 動作状況（稼働中／停止／故障内容）
- 最終稼働時期
- 使用ガスの種類
- 搬出条件（階段、扉幅、エレベーター）
銘板写真さえあれば、おおよその仕様はこちらで判断できます。
6. 周辺機器・付属品の価値
成膜装置は本体より周辺機器の価値が高いこともあります。
■ 高評価につながる周辺設備
- 真空ポンプ（ドライ・ターボ）
- RF電源（13.56MHz、2MHz、60MHz）
- マッチングボックス
- チラー（冷却装置）
- ガス供給ユニット（VMB・VMP）
- ロードロックユニット
- 制御PC（古くても価値あり）
- 予備部品（Oリング、ターゲット材、電源ケーブル）
特に RF電源や真空ポンプは単体でも中古需要が強い ため、
決して廃棄しないよう注意してください。
7. 成膜装置の売却時の注意点
以下は注意が必要です。
● ① ケーブル・ガス配管を切断しない
中古再稼働ができなくなり、価値が下がります。
● ② 真空ポンプを勝手に処分しない
装置の価値の一部が消えます。
● ③ 有害ガスの取り扱いに注意
CVDは特に「毒性ガス」「腐食性ガス」が残っていることがあります。
● ④ 解体業者だけで撤去しない
成膜装置は非常に精密で、破損すると価値が大きく落ちます。
8. よくあるトラブルと回避策
● 事例1：RF電源だけ先に廃棄してしまい減額
→ 回避：装置周辺の機器はすべてまとめて保管。
● 事例2：ガス配管を切断され、再利用不可
→ 回避：撤去前に必ず買取業者に写真を送る。
● 事例3：チャンバー内部の腐食
→ 回避：査定前に軽く掃除すると評価が上がることも。
● 事例4：搬出が難航し追加費用が発生
→ 回避：扉幅、天井高、階段幅を事前計測。
9. 搬出・撤去の注意点
成膜装置は大型で重量があり、搬出難易度が高い装置です。
● 重量
1〜5tクラスが一般的。
● クリーンルームの制約
- 粉塵対策
- 養生ルール
- 静電気対策
- 作業時間の制限
専門業者以外が搬出すると破損リスクが非常に高いです。
● 上階設置の場合
クレーン搬出、または分解作業が必要になることがあります。
10. 故障・古い装置でも売れる？
Q. 電源が入らないスパッタ装置は売れますか？
→ 売れます。ガス系・真空系が生きていれば部品取りでも需要あり。
Q. 1990年代の装置でも価値はありますか？
→ 研究用や海外向けで需要があります。
Q. 周辺設備が欠品している場合は？
→ 査定可能ですが、揃っているほうが圧倒的に高額になります。
Q. 型式が分からないので不安です
→ 銘板写真があれば問題ありません。
11. 売却の流れ
- 写真を送って問い合わせ（銘板＋装置全体でOK）
- 概算査定（相場レンジを提示）
- 必要に応じて現地下見
- 買取金額の確定 → 契約
- 搬出・撤去作業（専門業者が実施）
- ご入金（通常は搬出日〜数日以内）
成膜装置は非常に高額な中古装置のため、
査定〜搬出まで“専門知識を持つ業者”に依頼することが重要です。
まずはご相談下さい
- 古い
- 故障
- 動作不明
- 周辺設備が散らばっている
- 搬出が難しそう
そんな状態でも問題ありません。
CVD / PVD（成膜装置）は 中古でも価値が残りやすい代表的な装置 です。
スクラップにする前に、ぜひ一度ご相談ください。