半導体製造ラインの移設・撤去はなぜ高額になる？

装置売却でコストを大幅削減する方法を解説

半導体工場の閉鎖・統合・レイアウト変更、あるいは研究室・ベンチャー企業の設備入れ替え。
これらのシーンでは必ず 「半導体製造ラインの移設・撤去」 が発生します。

しかし実際には——

半導体装置の撤去費用が予想以上に高い
ユーティリティやクリーンルームの処理が難しい
どの装置にリセール（中古価値）があるか分からない
そもそも撤去の流れが分からない
装置の売却と廃棄の違いが分からない

という課題が必ず出てきます。

本記事では、半導体装置の売却経験が浅い企業や研究室・ベンチャーの担当者向けに、半導体製造ラインの移設・撤去に必要な工程、費用相場、注意点をわかりやすく説明し、さらに コストを大幅に削減できる“装置売却”という選択肢について詳しく解説します。

弊社のような専門の買取業者を活用することで、撤去コストを数百万円〜数千万円単位で削減できるケースが多々あります。

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なぜ半導体製造ラインの移設・撤去は高額になるのか？

半導体工場は、一般的な製造業の工場と大きく異なります。

● 1. 設備やインフラが高度で複雑

超純水（UPW）設備
ケミカル供給ライン
排ガススクラバー
薬液排水処理設備
CDA（クリーンドライエア）
高性能チラー・冷却塔

これらは専門の技術者でないと扱えず、撤去には分解・封止・薬液処理・廃液処理が必須となります。

● 2. 製造装置のサイズと重量が大きい

大型装置では5〜20トンになるため、
搬出・分解・移設には高度な工事と重量屋チームが必要です。

● 3. クリーンルームの解体が高額

クリーンルームは「二重床」＋「ダクト」＋「HEPAフィルター」＋「天井空調」といった多層構造でできています。

フィルターの廃棄や薬品汚染の除去、構造物の解体には専門工事が必要で、ここだけで数百万円〜数千万円。

● 4. 有害物質のリスク

半導体ではフッ酸、有機溶剤、ヒ素等の薬品が使われるため、ユーティリティ解体や排水設備撤去に専門処理が必要になり、費用が跳ね上がりがちです。

半導体製造ライン撤去の工程（初めての方向けに整理）

半導体工場の撤去工事は、次のような流れで行われます。

【1】事前調査（スクリーニング）

設備図面・ユーティリティ図面の確認
ケミカル使用状況の調査
汚染リスクの確認
装置の稼働状況、付属品、年式の確認

→ この段階で、どの装置が売却可能か診断できます。

【2】装置の停止・パージ作業

ガス・薬液の遮断
残留薬品の処理
装置内部の洗浄

※この工程にコストがかかるため、売れる装置があると大幅に費用削減できるポイントです。

【3】製造装置の分解・搬出

ドアや天井を外す必要がある装置も多数
分解してパレット積み
海外輸出用に木枠梱包することも

撤去費用の目安：

小型装置：10〜50万円
中型：50〜200万円
大型：200〜800万円
ステッパー・CVD：500〜1500万円以上

【4】ユーティリティ設備の撤去

スクラバー
超純水装置
排水処理設備
大型チラー・冷却塔

中古で売れることも多いため、装置とまとめて売却すれば解体費が一気に下がります。

【5】クリーンルーム解体

二重床・グレーチング撤去
HEPAフィルター回収
ダクト解体

規模により500万円〜3億円と大きな差が出ます。

【6】建屋の解体

ここでようやく一般的な建物解体と同じ工程になります。

半導体製造ラインの撤去費用はどのくらい？

装置撤去からクリーンルーム解体まで含んだ平均的な費用帯は以下の通りです。

小規模（研究室規模）：500万〜3,000万円
中規模工場：2億〜10億円
大規模FAB：10億〜100億円以上

初めて撤去工事を担当する方にとって、この金額は予想外に大きいのではないでしょうか？

実際、多くの企業・研究室が驚かれるポイントです。

撤去コストは“装置売却”で大幅にカットできる

ここが最重要ポイントです。

半導体装置には、中古市場で非常に高い価値が付くものが多数あります。

例えば：

ステッパー：5,000万〜数億円
CVD / PVD (成膜装置)：300万〜3,000万円
ダイシングソー・ダイサー：200万〜800万円
ワイヤーボンダー：50万〜300万円
半導体テスター：数百万〜数千万円

装置を売却すれば、そのまま解体費用に充当できます。

つまり、

装置売却 → 解体費を相殺 → 実質負担が大幅に減ります。

研究室やベンチャー企業の場合、撤去費が予算に収まらないケースが非常に多いため、この方法はほぼ必須といえます。

弊社が選ばれる理由

撤去・解体の現場では、“どの機械に中古価値があるか”を正確に判断できる業者が極めて少ないのが実情です。

弊社のような専門買取業者が介入することで、

● 高額売却できる装置を見逃さない

→ 解体費を最大限カット。

● 装置の型式・仕様・付属品をその場で正確に査定

→ 解体前に正しい価格がわかる。

● 売れる装置と廃棄すべき装置の線引きを明確化

→ 不要な廃棄費用を減らす。

● 海外需要も踏まえて相場を提示

→ 国内で値がつかなくても、アジア市場で高く売れるケース多数。

● 重量屋や工事会社との連携でワンストップ対応

→ 担当者の負担が大幅に減る。

こんな装置は高く売れる可能性があります

撤去予定の装置が以下に該当する場合、売却できる可能性が高いです。

2000年以降の製造装置
電源OK／起動確認できる
操作盤・付属品が残っている
ケミカル汚染が少ない
CVD / PVD / エッチャー / ステッパー
ダイサー / ワイヤーボンダー
半導体テスター

※写真1〜2枚、銘板情報があればすぐ査定できます。

半導体装置の撤去で失敗しないためのポイント

● ① 装置を“廃棄”と決める前に必ず査定を依頼する

→ 思わぬ高額になるケースが多い。

● ② 製造装置だけでなく、周辺設備も査定対象にする

スクラバー
排水処理設備
チラー
N2タンク
これらも高く売れる場合があります。

● ③ 解体会社任せにすると価値のある機器が処分されてしまう

→ 実際に非常に多いトラブル。

まとめ

半導体製造ラインの移設・撤去は、一般的な工場設備とは比較にならないほどコストがかかります。

しかし、以下の手順を踏めばコストは大幅に下げられます。

撤去前に必ず装置の査定を行う
売却可能な装置を最大限キャッシュ化する
売却益で撤去費を相殺する

弊社のような専門買取サービスを利用すれば、担当者の負担を軽減しながら、撤去費を大きく圧縮することができます。

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